四探針電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，可以測量硅、鍺單晶電阻率和硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃和其他導電薄膜的方塊電阻，主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能。廣泛用于半導體廠家、太陽能行業(yè)，還能滿足科研單位的精密研究。
電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優(yōu)點是設備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結(jié)果做相應的校正。
四探針電阻率測試儀測試四探針筆方法：
一般情況下，更換鋼針之類，不需要拆開探頭，只需要用拔出要更換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開難以取出，必須按照以下步驟進行操作：
1、先松開筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接;
2、輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，(四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側(cè)各兩片)，將斷針從銅片卡口座里取下即可;
3、特別注意一定不能將銅片取下時的位置錯亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接;
4、安裝時銅片及絕緣片按照拆下時的排列輕輕塞進探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲;
5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部。
